星空体育网址上海交大先进电子材料与器件平台迎来开放十周年

　　11月26日，上海交通大学先进电子材料与器件平台（以下简称AEMD平台）迎来十周年庆，同时平台正式开放二、三期运行。

　　记者从上海交通大学获悉，AEMD平台创建于2012年，目标是建立一个服务于全校的微纳加工工艺实验平台，并面向校外科研院所和企业开放共享。一期净化工程于2014年建成，并于同年11月正式向校内外用户开放服务。发展至今，AEMD平台整体拥有近1800 平米东、西区两个净化实验室，6、8英寸先进微纳加工实验线各一条，具备完善的微纳加工与测试能力，并新增了系列先进微纳加工与封装设备，星空体育注册有效增强了平台在有源电/光器件、MEMS、先进三维封装等领域的科研服务支撑能力。

　　上海交通大学党委常委、副校长蒋兴浩在致辞中表示，希望AEMD平台充分发挥交大人“求真务实、努力拼搏、敢为人先、与日俱进”的精神，不断产出国内外基础性、前瞻性、特色性的原创成果，努力建设成为能够实现重大突破的开放性科研平台，深化平台的育人功能，为加快实现我国高水平科技自立自强贡献更大的力量。

　　中国科学院院士、上海科技大学党委书记李儒新指出，上海交通大学自十余年前起就从学科发展的角度对平台设备工艺能力进行前瞻性布局，助力平台在微纳电子材料与器件从研发到产业化链条中发挥重要作用，极具时代意义。AEMD平台二、三期的正式投入运行，将使平台继续在微纳领域保持科学的前瞻性和技术的引领性。

　　中国科学院院士，深圳大学校长，曾任AEMD平台一期、二期项目负责人毛军发特别发来祝贺视频，寄语平台坚持面向国家重大需求，扎实积累，助推关键技术突破。

　　AEMD平台首任主任苏翼凯表示，AEMD平台在上海交通大学相关学科发展急需微纳加工实验工艺平台的背景下应运而生，以服务电子、物理、材料、化工等多学科的原创性和高水平科研为目标，发展至今，已在光电通信、MEMS、封装等领域取得了显著成果。

　　平台现任主任程秀兰介绍，平台新增了8英寸级高端微纳加工与测试新设备，将有效增强平台在有源电子/光学材料与器件、三维异质集成封装、MEMS、微纳光学、先进纳米材料与器件等研究领域的支撑服务能力，助推上海交通大学的微纳加工能力从无源器件全面提升到有源器件加工水平。

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